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真空区域的划分及前级真空泵的选择
发布时间:2011-12-26 点击量:3837

真空泵真空区域的划分

真空区域
压强范围
托(Torr)
帕(Pa)
低真空
760~10
101325~1333
中真空
10~10-3
1333~1.33×10-1
高真空
10-3~10-8
1.33×10-1~10-6
超高真空
10-8~10-12
10-6~10-10
极高真空
<10-12
<10-10

对于需要配前级泵的抽气机组,主泵选完之后,重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。选配前级泵的原则是:
    (1)前级泵在主泵出口处造成的压力应低于主泵的zui大排气压力
    (2)前级泵应保证始终及时排出主泵所排出的气体流量。
    (3)兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间及预抽真空度的要求。
    根据主泵的工作特性不向,配泵可分为两种情况:一种是主泵需要配前级泵,如扩散泵、分子泵等;另一种是主泵只需要配预抽真空泵,而不需要配前级泵,如各种吸附冷凝泵等。
     主泵配前级泵计算时,需要前级泵在主泵出口处形成的压力始终低于该泵的zui大排气压力,主真空泵才能正常工作。普通的油扩散泵的zui大排气压一般为26~40Pa左右;油增压泵的zui大排气压力一般为130~260yPa左右。
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